Entegris液體過濾系列包括知名品牌，如Wafergard、Guardian、Protego、Intercept、Microgard、Quickchange，Optimizer、Impact、Fluorogard、Processgard、Planargard和Durapore。Entegris過濾器可為半導(dǎo)體應(yīng)用中的工藝液體提供污染控制，如CMP漿料、濕法蝕刻和清潔酸、光化學(xué)和去離子水。所有這些過程都需要先進(jìn)行過濾，以在到達(dá)晶片或基板表面之前去除引起缺陷的顆粒和附聚物。

Entegris產(chǎn)品系列包括濾芯過濾器和一次性過濾器，具有比較先進(jìn)的連接技術(shù)。Integra提供技術(shù)支持，幫助您找到適合您應(yīng)用的產(chǎn)品。膜類型包括UPE、含氟聚合物、PVDF、PES和聚丙烯。Entegris是膜表面改性方面的專家，可為您的化學(xué)和應(yīng)用創(chuàng)建一個(gè)過濾器，并且停機(jī)時(shí)間比較短。

2005年Entegris,Inc.和Mykrolis Corporation合并，Mykrolis氣體過濾和凈化：在過濾和凈化空氣、散裝氣體或特定氣體時(shí)，Entegris擁有滿足您需求的專業(yè)知識(shí)，技術(shù)和解決方案。無論是使用點(diǎn)還是散裝氣體輸送、室內(nèi)或晶圓、潔凈室或工具，Entegris都有長期提供高性能氣體和空氣凈化和過濾產(chǎn)品的歷史，以滿足您的需求。